ONX®

ONX®600

ONX®是一種碳纖維強化的聚四氟乙烯(PFA)複合式材料,專門針對半導體生產環境配製與清洗之用。這種複合式材料是一種高強度、高純度材料,可在高溫下耐強酸化學物。

ONX®600對於SPM(硫酸氫過氧化混合物,食人魚洗液)、SC1(氨過氧化氫)、SC2(HCl-過氧化物)具有抗性,並且可稀釋HF清潔溶液,因此適用於製造晶片清洗的工程組件。這種材料被推薦用於精密零組件,在高達攝氏260度[華氏500度]的濕製程溫度下可保持穩定,同時也具有需要接觸晶圓邊緣應用所需的足夠純度。此外,由於矽的硬度比ONX® 600高,因此可最小化邊緣損失和顆粒產生。最後,ONX® 600的導電性可消除旋轉噴塗動作所產生的靜電,進而保護半導體裝置的精密功能。

與其他氟聚合物材料相比,ONX® 600具有強化性能和更低的擁有成本。在其卓越的機械性能和穩定品質下,可最大化設備性能和可靠性,使其成為OEM設備製造商應對高挑戰性規格的理想選擇。

特色與優點

  • 抗磨損/機械力攝氏260度[華氏500度]
  • 導電/耗散低體積電阻率
  • 30種金屬的清潔度< 3ppb
  • 抗化學/電漿性(SPM/食人魚溶液)
  • 在環境溫度下,拉伸和彎曲強度比標準未填充PFA高約 10倍
  • 可提高應用中的平均修復間隔時間(MTBR)
  • 具有靈活設計及客製化的能力