ONX®

Greene Tweed格瑞特維​​​​​​​的ONX® 600是一種以氟聚合物為主的碳纖強化複合物的高強度、高純度材料,可在高溫下承受強酸的化學作用。

使用於晶片清洗的ONX® 600對於SPM(過氧化硫,食人魚溶液)、SC 1(過氧化氫銨)、SC 2(過氧化氫 )具有抗性,以及可稀釋HF清潔溶液。

ONX®600被認為最適用於精密零組件,在高達攝氏200度(華氏392度)的濕製程溫度下可保持穩定,以及具有足夠純度適用於需要接觸晶圓邊緣的應用。此外,由於矽的硬度比ONX® 600高,因此可最小化邊緣損傷和顆粒產生。最後,ONX® 600的導電性可消除旋轉噴塗動作所產生的靜電,進而保護半導體裝置的精密功能。

與其他氟聚合物材料相比,ONX® 600具有強化性能和更低的擁有成本。通過出色的機械性能和穩定品質,最大化設備性能和可靠性,使其成為OEM設備製造商應對高挑戰性規格的理想選擇。

可適用直徑高達20英吋的零組件。